绝对式光学尺位置定位
● 三轴定位直接由绝对式光学尺作位置回馈 ，
定位精度高，重视性佳机台开机即在绝对位置，不需再归原点。

　　无旋转转动元件，有效的能量传递，使动力大幅提高， 降低移动慣量 ，低热损耗，进給速度可达 10m/s 。 精度高，无间隙，无磨耗，无維修，无噪音无污染。